Az ipari automatizálás, a repülés, az energiafeltárás stb. területén a nyomásmérés pontossága és megbízhatósága közvetlenül befolyásolja a berendezések teljesítményét és a gyártás biztonságát. A hagyományos nyomásérzékelőket korlátozzák az anyagok, a környezeti interferencia és a hosszú távú stabilitás, ami megnehezíti az egyre szigorúbb ipari követelmények teljesítését.
A Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) technológián alapuló, nagy-precíziós szilícium rezonáns nyomásérzékelő ultra-nagy érzékenységével, hosszú-távú stabilitásával és interferencia-ellenes képességével a por intelligens, precíziós mérésének egy teljesen új komponensévé válik.
A szilícium rezonáns nyomásérzékelő „egytízezres” pontosságot érhet el, ami elválaszthatatlan egyedi működési elvétől és fejlett technológiájától. Amikor a külső nyomás az érzékelő szilícium membránjára hat, a szilícium membrán deformálódik. Ez a deformáció további változást okoz a rezonáns nyaláb frekvenciájában. Ugyanúgy, mint amikor egy hangszer húrjain játszik, a húrok feszességének változása a hangmagasság megváltozásához vezet. A rezonancianyaláb frekvenciaváltozásának pontos mérésével az érzékelő ki tudja számítani a külső nyomás nagyságát.
| Paraméter | Index |
| Hatótávolság | 5-140 kPa.....7MPa |
| Nyomás típusa | Abszolút nyomás |
| Működési hőmérséklet | -55-125 fok |
| Minőségi tényező | 30000 |
| Alapvető frekvencia | 40 kHz |
| Átfogó pontosság | +0.01%F.S. |
Ebben a folyamatban az elektrosztatikus gerjesztés és a kapacitásérzékelő technológiák döntő szerepet játszanak. Az elektrosztatikus gerjesztés olyan, mintha folyamatos "hajtóerőt" adna a rezonáns sugárnak, lehetővé téve annak stabil rezgését; A kapacitásérzékelés olyan, mint egy lelkes "megfigyelő", amely pontosan képes rögzíteni a rezonáns nyaláb rezgési frekvenciájának finom változásait. A kettő kiegészíti egymást, és együttesen biztosítja az érzékelő nagy mérési pontosságát, ±0,01% FS pontossági szintet érve el. Mit jelent ez a fogalom? Egy atmoszféra nyomásmérésekor mindössze 0,1 kPa hibának felel meg. Egy ilyen apró hiba elegendő ahhoz, hogy megfeleljen a nagy-precíziós mérési forgatókönyvek túlnyomó többségének.
A szilícium rezonáns nyomásérzékelő nagy pontossága mellett számos alapvető előnnyel is rendelkezik, amelyek kiemelik a számos nyomásérzékelő közül. Ami a hőmérséklet-ön{1}}kompenzációt illeti, a kristályorientációs adalékolási eljárás révén sikeresen csökkentette a hőmérséklet-eltolódási együtthatót évi ±100 ppm-re. Ez azt jelenti, hogy a szenzor mérési pontossága még jelentős hőmérséklet-ingadozású környezetben is viszonylag stabil maradhat, és nem generál nagy hibákat a hőmérséklet-ingadozások miatt. Az interferencia elleni képesség szempontjából a szilícium rezonáns nyomásérzékelő frekvenciajelet ad ki. Ez a fajta jel nem igényel analóg--digitális átalakítást. Csakúgy, mint egy „jelerőmű”, önmagában is erős{10}}interferenciagátló képességgel rendelkezik. Más típusú érzékelőkkel összehasonlítva elektromágneses interferencia-gátló képessége háromszorosára nőtt, ami lehetővé teszi, hogy bonyolult elektromágneses környezetben is stabilan működjön, és biztosítva legyen a mérési adatok pontossága.
Szélsőséges környezettel szemben a szilícium rezonáns nyomásérzékelő sem félelmetes. Működési hőmérséklet-tartománya -55 foktól +125 fokig terjed. Legyen szó a rendkívül hideg Antarktiszon, a tikkasztó sivatagban, vagy a rendkívül szigorú környezeti követelményeket támasztó repülőgépiparban, normálisan tud működni, kielégítve a nyomásmérési igényeket különféle extrém környezetben, és megbízható adattámogatást nyújt a releváns berendezések stabil működéséhez.
A különböző országok feldolgozóiparának gyors fejlődésével az ipari automatizálási berendezések iránti kereslet folyamatosan növekszik, ami egyúttal a nagy pontosságú nyomásérzékelők iránti keresletet is növeli-. Az ügyfelek speciális igényeinek jobb kielégítése érdekében professzionális K+F csapatunk személyre szabott ODM szolgáltatásokat nyújt az ügyfelek különböző méretekre, energiafogyasztásra, interfész definíciókra stb. vonatkozó követelményei szerint. A csomagolási folyamat során a vevői igényeknek megfelelően kiválasztjuk a megfelelő csomagolási formákat és anyagokat, hogy biztosítsuk az érzékelők teljesítményét és megbízhatóságát.